27.10.2020, 13:42
Gemü C53 iComLine er en aktuel el-motorbetjent reguleringsventil fra Gemü Group, målrettet halvlederproducenter.
Halvlederindustrien stiller høje kravt til ventil-, måle- og reguleringsteknik. Pneumatisk betjente ventiler er ikke længere tilstrækkelige til at opfylde de krav til regulering, som førende producenter af procesudstyr stiller. Derfor har ventilspecialisten Gemü udviklet en el-motorbetjente reguleringsventil, model Gemü C53 iComLine.
2/2-vejs-membransædeventilen C53 iComLine er således udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling.
Ventilens tætningsprincip er baseret på Gemüs PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en konusformet reguleringskonus af robust PTFE. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsstørrelserne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder Gemü C53 iComLine derfor næsten alle reuglerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri.
Kombinationen af en præcis stepmotor med rene ventilhusmaterialer gør ventilen egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analyseområdet inden for halvlederfremstilling. påpeger Gemü.
Membransædeventilen C53 iComLine kan i den forbindelse ikke blot monteres som en enkeltvirkende fristrømsventil. Det er også muligt at integrere ventilen i en M-Block Gemü PC50 iComLine med henblik på at opnå et kompakt flowsystem.
Ved bearbejdning af siliciumwafers kan der for eksempel benyttes en flervejsventilblok i FOUP-Cleaner med henblik på temperaturstyring af det deioniserede vand.
Vi samarbejder med,
og er talerør for følgende: